Чистильня с полупроводниковыми чипами

С быстрым развитием науки и техники полупроводниковые чипы стали одним из ключевых компонентов современной электронной продукции. Для обеспечения качества и эффективности производства полупроводниковых чипов решающее значение приобретает строительство чистых помещений. Существуют высокие требования к качеству воздуха производственной среды, а качество воздуха связано с урожайностью и качеством продукции. Многие полупроводниковые отрасли промышленности требуют чистых помещений.

Полупроводник чистB. Р.Принцип ом

Cleanroom — это специально спроектированное помещение, которое исключает пылевые частицы, вредные газы, бактерии и другие загрязняющие вещества из воздуха в пределах определенного пространства и контролирует температуру внутри помещения, чистоту, давление внутри помещения, скорость воздушного потока и его распределение, шумовую вибрацию, освещение и статическое электричество в определенном требуемом диапазоне. Другими словами, частицы пыли в этой контролируемой комнате довольно редки.

Преимущества технологии чистых комнат

Процесс производства полупроводников имеет очень высокие требования и очень чувствителен к пыльной среде. Технология чистых помещений может обеспечить хороший экологический контроль и эффективную фильтрацию, делая производственный процесс свободным от загрязнения или с крайне низким уровнем загрязнения. Это обеспечивает неограниченные возможности для высокого качества и высокой эффективности процессов производства полупроводников.

В процессе производства современных полупроводниковых изделий основными преимуществами технологии чистых помещений являются:

1. Повышение эффективности производства: ряд факторов, таких как температура, влажность и давление воздуха, можно контролировать в чистых помещениях, чтобы лучше регулировать производственную среду, тем самым повышая эффективность производства.

2. Снижение уровня загрязнения продуктов: твердые частицы в воздухе в чистой комнате тщательно фильтрованы, с меньшим загрязнением, тем самым снижая уровень загрязнения продуктов.

3. Повышение качества продукции: чистое Технология комнаты может контролировать производственную среду и поддерживать относительно постоянную температуру и влажность, тем самым повышая качество продукции.

4. Сокращение производственных издержек: благодаря применению чистых технологий в помещениях можно снизить степень повреждения продукции и улучшить ее качество. В то же время это также снижает производственные издержки

Чистота воздуха

Стандарты чистоты полупроводниковых помещений разделены в основном на несколько уровней, от высокого до низкого: класс 100, класс 1000, класс 10000 и класс 100000. Среди них самый высокий стандарт чистоты класса 100 и очень строгие требования, в то время как стандарт чистоты класса 10000 относительно мягкий.

Стандарт чистоты класса 100 является самым высоким уровнем требований чистоты вПомещения для очистки полупроводникового материала- да. На этом уровне концентрация твердых частиц в воздухе должна быть очень низкой, а общее количество частиц размером не менее 0,5 градуса на кубический дюйм воздуха не должно превышать 100. Кроме того, требования к микроорганизмам также являются весьма строгими и требуют, чтобы микроорганизмы вообще не существовали.

Стандарт чистоты класса 1000 требует, чтобы концентрация твердых частиц в воздухе не превышала 1000 частиц пыли, составляющих не менее 0,5 градуса на кубический метр. Требования к микроорганизмам относительно низки, и разрешается существование определенного числа микроорганизмов.

Стандарт чистоты класса 10000 требует, чтобы концентрация твердых частиц в воздухе не превышала 10000 на кубический метр. Требования, предъявляемые к микроорганизмам, являются относительно нежесткими, и существует определенное число микроорганизмов.

Стандарт чистоты 100 000 является самым низким требованием чистоты в полупроводниковых помещениях. На этом уровне концентрация твердых частиц в воздухе не должна превышать 100 000 на кубический метр. Требования, предъявляемые к микроорганизмам, являются относительно мягкими, и допускается наличие определенного числа микроорганизмов.

Влияние влажности на чистые помещения

1. Рост бактерий,

2. Диапазон комнатной температуры, что рабочие чувствуют себя комфортно 

3. Видимость статического заряда

4. Коррозия металлов

5. Конденсация водяного пара

6. Деградация фотолитографии

7. Поглощение воды

Производство полупроводников также имеет очень строгие требования к контролю температуры и влажности. В целом, температура в чистой комнате контролируется в пределах 20-24 градусов по цельсию, а влажность контролируется в пределах 30-60%. Контроль температуры и влажности оказывает большое влияние на производительность и надежность чипа.

Бактерии и другие биологические загрязнители (плесень, вирусы, грибы, клещи) могут активно размножаться в окружающей среде с относительной влажностью более 60%. Влажность должна контролироваться от 40% до 60%, чтобы минимизировать воздействие бактерий и респираторных инфекций, которые также являются умеренным диапазоном для человеческого комфорта.

Ключевые моменты чистого дизайна мастерской

1. Выполнить требования производственного процесса по архитектурному проектированию и реализовать высокопроизводительные производственные площади и объекты. При разработке генерального плана, планировки и конструкции секций цеха очистки проекта необходимо в полной мере учитывать рациональное использование участка и требования технологического производства. При проектировании здания цеха по очистке и чистоте необходимо должным образом учитывать взаимосвязь между чистым районом и прилегающей к нему вспомогательной зоной.

2. Реализация объектов, которые могут работать экономически, экономить энергию, быть простыми в обслуживании и сократить затраты на строительство. Архитектурный проект цеха очистки должен обеспечивать чистоту, простоту очистки, предотвращение внутреннего и внешнего загрязнения и предотвращение образования, удержания и накопления частиц.

3. Следует использовать высоконадежные операционные средства. Архитектурный проект цеха очистки должен обеспечить безопасную эксплуатацию строительного оборудования, а также безопасность персонала и имущества в случае аварии. Основная структура должна иметь класс, соответствующий уровню технологического оборудования, обработки и отделки зданий в чистой мастерской очистки, долговечности и огнестойкости чистой мастерской, а отделка должна быть согласовалась с уровнем оборудования, чтобы инвестиции длились долгое время.

4. Необходимо создать механизмы, которые могут адаптироваться к будущим изменениям. Архитектурный план и пространственная планировка чистого цеха должны быть гибкими для создания условий для корректировки производственных процессов.

Полупроводниковый стандарт cleanroom является очень важным стандартом, который напрямую связан с успехом производства полупроводников. Строго соблюдая стандарт cleanroom, мы можем обеспечить соответствие качества воздуха, температуры и влажности, статического управления электричеством и других аспектов процесса производства полупроводников требованиям, тем самым обеспечивая качество производства и производительность чипа. В будущем процесс производства полупроводников будет по-прежнему играть важную роль и обеспечивать мощную поддержку развитию полупроводниковой промышленности.