Стандарты чистых комнат для цехов по производству чипов в полупроводниковой промышленности

1. Стандарты качества чистых комнат

Класс чистых помещений обычно делится на количество и размер частиц- да.разрешенных в воздухе. Стандарт ISO 14644 обычно используется на международном уровне для классификации сортов. В соответствии с этим стандартом, классы чистых помещений от высокого до низкого: ISO 1-9.

Следует отметить, что стандарты чистых помещений могут варьироваться в зависимости от конкретных отраслей и областей применения. При производстве полупроводниковых чипов стандартные требования к чистым комнатам, как правило, являются более строгими для обеспечения того, чтобы качество и производительность производимых чипов соответствовали ожиданиям.

Классы чистых комнат можно разделить на: класс 1 > Класс 10 > Класс 100 > Марка 1000 > Марка 10000 > Класс 300000.

Чистые помещения класса 1 в основном используются в микроэлектронике для производства интегральных схем, а требования к точности интегральных схем — субмикрон.

Чистые помещения класса 10 используются в основном в полупроводниковой промышленности с пропускной способностью менее 2 микрон.

Чистота класса 100 широко применяется и может удовлетворить потребности чистоты большинства отраслей промышленности. Он может быть использован для асептической технологии производства в фармацевтической промышленности. Эта чистая комната может быть использована в хирургических операциях для трансплантации и производства интеграторов, а также для изолированного лечения пациентов, которые особенно чувствительны к бактериальным инфекциям.

Чистые помещения класса 1000 используются в основном для производства тонкой оптической продукции, а также для испытания и сборки гироскопов самолетов, сборки тонкой микроподшипников и т.д.

10 000 чистых помещений класса могут быть использованы для сборки гидравлического или пневматического оборудования, а в некоторых случаях также используются в пищевой промышленности и производстве напитков. Кроме того, 10 000 чистых комнат класса также широко используются в медицинской промышленности.

2. Соображения безопасности

Оформление полупроводниковых чистых помещений должно отвечать требованиям безопасности. В целом, в полупроводниковых чистых комнатах имеется большое количество легковоспламеняющихся и взрывчатых веществ, поэтому во время отделки следует соблюдать соответствующие национальные правила безопасности, такие как противопожарная защита и защита от взрывов. Кроме того, следует также рассмотреть вопрос о загрязнении окружающей среды и здоровье и безопасности персонала для обеспечения того, чтобы декоративные материалы соответствовали национальным стандартам и не причиняли вреда здоровью человека.

3. Система очистки воздуха в чистых комнатах

Полупроводниковые чистые помещенияУстановка систем очистки воздуха для обеспечения чистоты воздуха в мастерской. Система обработки воздуха состоит главным образом из воздушных фильтров, систем подачи воздуха, систем обратного воздуха и систем выпуска выхлопных газов. Среди них важным компонентом, который может эффективно удалять твердые частицы и микроорганизмы в воздухе, являются воздушные фильтры.

4. Отделка полов, стен и потолков

В оформлении полупроводниковой чистой комнаты, украшение Пола, стены и потолка очень важно, потому что эти области подвержены загрязнению. Пол должен быть изготовлен из износостойких, антистатических и простых в чистоте материалов, таких как эпоксидный самовыравнивающийся Пол или Пол из ПВХ пластика; Стены и потолок должны быть изготовлены из коррозионностойких, антистатических и простых в чистоте материалов, таких как алюминий - бутерброд? Панель, нержавеющая сталь панели, стеклянная навесная стена и т.д.

5. Схема электрического оборудования, такого, как лампы и розетки

В оформлении полупроводниковой чистой комнаты, компоновка ламп и розеток также очень важна. Для предотвращения попадания в мастерскую таких загрязнителей, как пыль и микроорганизмы, эти устройства следует устанавливать на потолке или выше высоты стенки, отбирать антистатические и непорошкообразные материалы.

6. Двери, окна, чистые рабочие скамьи и другое оборудование

В оформлении полупроводниковой чистой комнаты,Двери чистых комнат, Окна в чистых комнатах, чистые рабочие скамьи и другие объекты также нуждаются в особом внимании. Двери и окна должны быть изготовлены из материалов с хорошей герметичностью и простоты очистки, таких как двери и окна из нержавеющей стали; Чистые рабочие скамьи должны быть изготовлены из материалов, которые не сбрасывают порошок, шлаковые частицы, коррозионностойкие и легко чистить, таких как рабочие скамьи из нержавеющей стали.