Догма-догва-догва-догва-догва: догва-догва-догва-догва-догва-догва-догва-догва-догва

Конструкция полупроводниковых чистых помещений должна обеспечивать защиту все более чувствительных процессов от частиц, молекулярного загрязнения воздуха, электростатического разряда, вибрации и нестабильной температуры или влажности. Задача заключается не только в проведении классификационного испытания; Она поддерживает специфические технологические условия вокруг инструментов, в то время как завод работает и изменяется.

Поэтому масштабируемый объект сочетает в себе зонирование на основе рисков, гибкий воздушный поток, совместимые материалы корпуса, дисциплинированное движение материалов и доступ к услугам, что не приводит к неоднократному нарушению производства.

Преобразование чувствительности процессов в зоны

Начните с последовательности процесса и определите загрязнители, которые угрожают каждому шагу. Фотолитография, осаждение, гравировка, очистка, метрология, монтаж и вспомогательные операции не всегда требуют одинакового контроля. Единая классификация по всему объекту может приводить к разбазариванию энергии без учета местного молекулярного или электростатического риска.

Создание матрицы ограничения загрязнения для каждой зоны, охватывающей критические размеры частиц, проблемы куа, стабильность температуры, влажность, оур, соотношение давления, выбросы и доступ к техническому обслуживанию. Эта матрица станет основой для обеспечения максимального охвата, стратегии возвращения-воздух, наземных материалов и мониторинга.

На сайте'sЭлектронный и полупроводниковый растворОбеспечивает соответствующую отправную точку для групп, координирующих контролируемую среду с требованиями современного производства.

Проектирование воздушного потока вокруг инструментов и тепловых нагрузок

Чистый воздух должен достигать чувствительного процесса, не блокируясь инструментами, накладными услугами или операторами. Высокие тепловые нагрузки могут создавать вертикальные брызги, которые нарушают предполагаемый поток воздуха. Большое оборудование может создавать теневые зоны, а плохо размещенная отдача может приводить к короткоцепной фильтрации поставок.

Карта размеров инструмента, выхлопные патрубки, тепловыделяющие оболочки и оболочки технического обслуживания.

· координировать позиции FFU с критическими областями процесса, а не использовать только визуально однообразную схему.

· используйте стратегии низких доходов или верхнего этажа, где они поддерживают желаемый путь.

· оценить расход воздуха после изменения планировки инструмента, а не только при первоначальном вводе в эксплуатацию.

· рассмотреть CFD для плотно упакованных бухт или высокочувствительных локальных зон.

Модульное управление отдельными блоками может помочь ребалансировать поток воздуха при перемещении инструментов. Комплексная система управленияЧистая потолочная система FFU комнатыТакже координирует активные единицы, пустые панели, огни и доступ к услугам в рамках воспроизводимой сетки.

Контроль куа, а также частиц

Частицы системы управления фильтрацией HEPA и ULPA, но не удаляют каждый загрязнитель газовой фазы. Кислоты, основания, конденсаты, допанты и другие молекулярные загрязнители могут требовать контроля над источниками, химической фильтрации, ограничений на материалы и специального мониторинга.

Обзор герметиков, покрытий, изоляции, чистящих средств и мебели на предмет риска утечки газа. Отдельные процессы, которые генерируют несовместимые загрязнители и управляют качеством наружного воздуха и рециркуляцией. Приемлемый уровень должен быть увязан с чувствительностью процесса и методом измерения, а не с общим требованием о чистоте помещений.

Интеграция оур, влажности и выбора поверхности

Электростатическое управление зависит не только от Пола. Заземление, проводимость или диссипативные поверхности, одежда, инструменты, влажность и практика эксплуатации образуют одну программу. Влажность должна обеспечивать баланс между эффективностью оур и технологическими требованиями, риском коррозии и контролем конденсации.

Отделка стен и потолков должна быть гладкой, непроливной и совместимой с чистящими средствами. Их суставы и рамы не должны создавать ловушки частиц. Где часто происходят изменения в оборудовании, aСъемная стеновая панельМожет обеспечивать контролируемый доступ для перемещения инструмента при сохранении модульной концепции камеры.

Планирование перемещения материальных средств и персонала

Поступающие материалы могут содержать частицы, волокна и упаковочный мусор. Определение этапов распаковки, стирания и переноса материалов до их попадания в более чистые зоны. Маршруты передвижения персонала должны сводить к минимуму потоки материалов и отходов, а одежда должна соответствовать фактическому зональному риску.

Шлюзы и коробки для пропусков полезны только тогда, когда их операционная последовательность практически осуществима. Если сроки передачи нереалистичны, операторы могут обойти эту процедуру. Наблюдайте ожидаемый объем производства и размеры передаточных пространств для пикового спроса, тележек и контейнеров.

Сборка для изменений инструмента без потери контроля

Производство полупроводников развивается быстро. Резервные потолочные модули, электрические мощности, коммунальные услуги и контрольные адреса для расширения. Используйте воспроизводимые панели и сеточные модули, чтобы местные изменения могли быть сделаны с ограниченным разрушением. Технические погони и доступ к услугам должны обеспечивать техническое обслуживание из менее чистых районов, где это возможно.

Управление изменениями должно оценивать расход воздуха, давление, тепловую нагрузку, вибрацию, химические выбросы и мониторинг после любого перемещения инструмента. Перебалансировка и целенаправленная перекалибровка могут потребоваться даже в тех случаях, когда границы помещений не меняются.

Комиссия на представительных условиях

Испытания должны выходить за рамки количества частиц в порожних помещениях. Проверка целостности фильтра, объема воздушного потока, давления в помещении, стабильности температуры и влажности, восстановления, управления ESD и соответствующего мониторинга куа. Визуализация воздушного потока вокруг важнейших инструментов может показать, достигает ли чистый воздух точки использования, как это предполагалось.

Записывайте базовые показания и конфигурацию инструментов, чтобы будущие отклонения можно было сравнить с известным состоянием. Данные о тенденциях должны служить подспорьем при проведении расследований и профилактическом обслуживании процессов, а не использоваться только для целей ревизии.

Часто задаваемые вопросы

Все ли полупроводниковые чистые помещения требуют одинакового класса ISO?

- нет. Нет. Классификация должна отражать чувствительность процесса. Местные критические зоны могут требовать более жесткого контроля, чем вспомогательные или служебные помещения.

Могут ли фильтры HEPA удалять переносимые по воздуху молекулярные загрязнения?

Фильтры HEPA предназначены для твердых частиц. Молекулярные загрязнители, как правило, требуют контроля источника, совместимых материалов и соответствующей газофазной фильтрации.

Почему модульные стены ценны в полупроводниковом оборудовании?

Они могут упростить управляемые перемещения инструмента и изменения компоновки, сокращая демонтаж и простои, когда система предназначена для повторяемого удаления и перезагрузки.

Когда следует произвести переоценку воздушного потока?

Провести повторную оценку после внесения значительных изменений в инструментальные средства, выхлопные газы, потолок, обратный воздух или компоновку помещений с интервалами, определенными объектом#- 39; Квалификационная программа.

Укажите для производительности и будущих изменений

Сильная RFQ включает матрицу зонирования процессов, структуру инструментов, данные о тепловой энергии и выбросах, целевую классификацию, требования куа и оур, модуль потолочных значений, маршруты технического обслуживания и сценарии расширения. Wiskind Cleanroom поддерживает глобальные проектные команды B2B модульным модульным модулем, потолком, дверью, оборудованием и интегрированными проектными возможностями для производства электроники и полупроводников.