Каковы требования к строительству электронной чистой комнаты?

С развитием компьютеров, микроэлектроники и информационной технологии стимулировалось быстрое развитие электронной промышленности, а также развитие технологии "чистых помещений". В то же время выдвигаются более высокие требования к проектированию чистых помещений.

Проектирование чистых помещений в электронной промышленности — это комплексная технология. Только при полном понимании проектных характеристик пылелитейного цеха электронной промышленности и достижении разумного проектирования можно снизить уровень дефектов продукции электронной промышленности и повысить эффективность производства.

Особенности электронной чистой комнаты

Уровень чистоты должен быть высоким. Объем воздуха, температура, влажность, разность давления и выхлопные газы транспортного средства контролируются по требованию. Освещенность и чистое пространство секции скорость ветра регулируется в соответствии с конструкцией или спецификациями. Кроме того, этот тип чистых помещений имеет чрезвычайно строгие требования к статическому электричеству. В частности, требования к влажности являются особенно жесткими, поскольку статическое электричество легко генерируется на чрезмерно сухой установке, что может нанести ущерб интеграции CMOS.

1. В общем, температура воздуха Электронный чистый зал Должна контролироваться при температуре около 22 градусов, а относительная влажность должна контролироваться в пределах 50-60% (специальные чистые мастерские имеют соответствующие правила температуры и влажности). В это время, статическое электричество может быть эффективно устранено и люди чувствуют себя комфортно.

2. Чипсы чистые комнаты, интегрированные схемы чистые комнаты и дисковые мастерские являются важными компонентами чистых помещений в электронной промышленности. Поскольку электронные продукты имеют чрезвычайно строгие требования к внутренней атмосферной среде и качеству в процессе производства и изготовления, основными объектами являются контроль за частицами и плавающей пылью. В то же время были введены строгие правила в отношении температуры и влажности окружающей среды, количества свежего воздуха и шума.

3. Уровень шума (пустое состояние) в чистой комнате класса 10 000 электронного предприятия не должен превышать 65дб (A).

4. Коэффициент полноты вертикального потока чистого помещения завода по производству электроники должен составлять не менее 60%, а горизонтальный односторонний поток чистого помещения не должен составлять менее 40%, в противном случае это будет частичный односторонний поток.

5. Разница в статическом давлении между чистым помещением и снаружи предприятия по производству электроники должна составлять не менее 10 па, а разница в статическом давлении между чистым и нечистым помещением с разной чистотой воздуха должна составлять не менее 5 па.